1997년부터 · 질량유량 측정 솔루션
신뢰할 수 있는 기술과확실한 애프터서비스.
한국 최초의 자체 생산 MFC·MFM 제조사. 반도체, 디스플레이, 바이오, 연료전지 공정 현장에서 25년 이상 검증된 정밀 질량유량 제어.
KAIST 공동연구 기반 · 국내 최초1997
설립 연도
대전광역시 유성구
2003
국내 최초 자체 MFC 양산
M-Series
0.01–5000
SLPM 측정 범위
전 시리즈 합산
±0.25%
반복 정밀도
전 제품 공통
01 — 제품 시리즈
네 가지 계열, 하나의 기준
공정 조건, 예산, 가스 종류에 따라 선택 가능한 풀 라인업.
MD14 모델
디지털 시리즈
8-포인트 보정, ±0.25 % 정확도. 응답 0.5–1 초.
0.01 – 5,000 SLPM
LD / LM8 모델
전문 시리즈
내장 디스플레이(LD) · MEMS 저비용(LM) · 방폭(EX).
0.01 – 1,000 SLPM
LTI5 모델
리드아웃·부속
LTI-200/1000 표시기, FC-050S 유량계, PR-030 압력계.
전 모델 공통
03 — 핵심 모델
M3030VA
반도체·디스플레이 공정용 디지털 압전식 질량유량제어기.
- 유량
- 10 SCCM – 20 SLM
- 정확도
- ± 1.0 % S.P.
- 응답
- ≤ 1.0 s
- 통신
- 0–5 VDC / Modbus RTU
M3030VA
REV.7
PLACEHOLDER · PRODUCT
LINE TECH
N₂ · 20 SLM
02 — 적용 분야
정밀을 요구하는 모든 공정에
01
반도체 · 디스플레이
Semiconductor
02
연료전지
Fuel Cells
03
LED · 광섬유
LED · Fiber Optics
04
바이오 · 제약
Biotech · Pharma
05
화학 · 석유화학
Chemical
06
태양광 · PV
Photovoltaic
07
금속 가공
Metals
08
R&D · 연구소
R&D · Labs
04 — 인증
국제 표준을 충족합니다
ISO 9001
CE
INNOBIZ 인증
RoHS / REACH
KAIST 공동 R&D